“老万🝑,你怎么看?”许振鸣却没直接回答郝宁教授,反而站起身来问💟📅😡万宁古。📤
万宁古🝑此时正用一块💹碎布擦着手上的污渍,脸上的露出犹豫🔦🂳不决的表情。
他有点相信梁宋松的判断,认为没有必⛥要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍♤🐟激光能量测试的计划是原先预定好的,现在立即🔎推翻的确有些过分。
更何况郝宁教授是团队里精通光学♗的专家,制定的计划肯定科⛼☋♢学。他们💟📅😡这些外行人怎么能随便瞎指挥。
想到这里,他朝许振鸣苦笑道:“许董,我认为郝宁教授是专业人士,制定的计划应该非常专业,🏋😞咱们还是按照预定好的计划来执行。”
“好!我跟你的意见一致,专业的事情应该交给专业的人🜄⛌去处理。”许振鸣笑道,顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音,解决了郝宁团队和梁宋松的意见🚥🕜分歧。
事实上,按照许振鸣的想法,他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教☲🃕🗬授现在要做的是重复两次测试,顶多浪费一🎫些时间和钞票。许振鸣承受的起,一鸣集团也不缺这点资源。
更何况,郝宁教授应💹该不会无的放矢🈵,有自己专业技术方面的考虑才是。
一念至此,许振鸣朝郝宁教授一挥手,“郝教授,你们团队的测试🞱🗼♓流程都要按照预定👹好计划来执行,不要怕花钱,我们集团公司做项目是不怕花钱的。”
“好的许董。”郝宁教授微笑着点点头,开⚡💽🗘始忙碌起来。
而作为项目小组的负责人,梁宋松此时有点尴尬,心里更是很难受,“这帮土🎓🐨包子不听老人言,吃亏就在眼前呐。”
梁宋🛴松没说🇰🜐话,站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况,一会儿又看🀿🂥看万宁古这帮人的测试流程。
这时。
万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器,要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、👃功率输出数😠🂱💤据、运行过程中的功率变化数据、电磁🄉杂波数据等等。
这套实验测试流🛑程,也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据,跟以前的测试报告有没有发生变化。
倘若没有发生变化,那就有点麻烦喽!
作为一鸣⛼☋集团公司的重点项目,这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后,其实已🆙🏺🟇经测试过很多次。倘若数据不过关,项目负责人胡明镇是不会立即做光🙍🉇刻机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中🁨🈕出现光刻质量缺陷,这台设备若没出现问题,逻辑上🎓🐨怎么也解释不清楚。
带着这种疑问,万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边🎓🐨,两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久,他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后,监视器显示的各项数据都很正常,精度误差都在许可的🗓范围之内。