如果没有周🖹硕的干扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，真实历史上🗹☷实际使用的是步进重复投影曝光☄技术。
在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影🁃🃈🕸部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，🗿这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统🈡⛟复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0.35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0.2🖌👎🇱5微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整🎦📘个系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接🔲🄥⛏触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路，那就是非接🎢💲触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了🗳☆，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术🛠而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的🍖🈂高🗹☷成本。
其实说起来🖹，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以🎦📘发泄自己内心的畅快🃗🗺！
日本人费尽心思弄🈧到了防水光🞋刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光🗹☷刻胶就是一个废物了！
鹤田刚开⚼🖰🖑始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么🗹☷翻盘的机会？
这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。⛷🟅🚭整个九🃗🗺十年代，世界十大晶圆🝘🚀厂，日本人占了半数还多！
在鹤田和所有日本人看来，中国💬🔼人能拿出沉浸式光刻技术纯粹🌔⚝就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！
除了沉浸式光刻技术这种独🆦👴辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们手里的底牌也就是仅此而已。
然而事🖌👎🇱实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。
以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一🝮🎝个小小的中🝕国企业面前！这t的不科学啊！
鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看🍖🈂到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人🝾🐭给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。
可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。
步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程🂷技术向前推进一个时代……