“报告许董，主机系统重复精度小于🁬0.001毫米，数据正常。”
“报告万总🟁，主机💘💇系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”
“报告万总🟁，🁒主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没🀞♢有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都⚚👼在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员们非常专注，每出现一个数据就🃩会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变🉃🄥化。这事有点蹊跷了💸！
另一边，郝宁教授的团队🔷已经完成了激光光源👙🆊的能量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看来，米国佬的这台激光光源系统🃩没有质量🙉🈧问题，性能非常稳定🗩。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺🆐陷。这是什么鬼情况🌸？”
“这…这😕事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着👿🎦📕许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光🔄刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问🐊题。
但现在一番检🁒测下来，这两台设备的情况⛤🜘都很正常，问题到底在哪里？
“🍋🆢两台设备单体都正常，组装在一起🁬就不正常。在组🝋装的时候，我们做过哪些改动程序？”
这时🚢🕈🇫，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在光刻机主体系统的接驳机👿🎦📕构处。他的意思很🝦🍚明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，🁒我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许🝤振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。
“不可能！🟁我们这台光刻机的接驳机构是用集👙🆊团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。
这时候🕊，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁🙦古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻😓🀽机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说，要用实验🂢🐡🁜数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳🆐机构，感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构的加工面非常光⚚👼滑🂢🐡🁜，曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。